“我們的問題不僅僅是找不到，而是有些問題即便找到了，也沒有辦法解決。”

會議只是開始，會後，翟豎與滬州微電子的工程師們一同探討著某些問題。

雖然工程師們也沒有寄希望於翟豎能夠解決，但既然翟豎問道了，他們也就如實回答了，根據最新的授權，除非絕密級，其他的東西可以對翟豎不設防。

“嗯。”

翟豎看著剛剛工程師們提出的一個問題，腦子裡也在飛速的轉圈，他在思考晶片生產過程中的一些細節。

既然同樣的裝置有一個能夠達到一定的實驗室良好水平，那說明元器件本身是有這個能力的，之所以良率差，肯定是工藝細節方面的原因。

“掩膜版與晶圓的對準工藝...”翟豎嘟噥著。

“是，掩膜版與晶圓的對準至關重要，它將直接限制晶片的整合密度和電路的效能。”立即就有工程師接話：

“步進掃描投影光刻機在對準的過程中，晶圓片並不直接對準掩膜，而是圓片和掩膜經過各自的光路，對準於曝光系統的光學鏈上。

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“而這兩個過程的精準匹配非常重要，些微的系統誤差對晶片的效能就會產生影響。”

另一名工程師點了點頭，肯定道：“是這樣的沒錯，現在就有一個巨大的問題，當光刻機光源大量的光穿過掩膜時，不可避免的會造成掩膜材料的發熱。

“熱脹冷縮，這對於任何材料來說都是一個無法避免的，即便是掩膜版採用了熱膨脹係數極低的材料，在0.71度的溫度變化下也會產生0.1微米的膨脹。

“可不要小看這0.1微米，就是它造成的掩膜版和晶圓片的對準精度誤差，從而影響了之後的曝光精度和製程工藝。”

“不可以對膨脹產生的誤差利用光源系統進行補償性的調整嗎？”翟豎脫口而出。

“想都別想，微米級別的精度誤差，1ms以內的補償，別說我們，全世界都做不到！一方面是監測難，另一個方面，電子曝光系統的控制也非常困難。而且，一個微小的變化可能就會誘發出更多問題，甚至整個系統就要重新調整。”

工程師們不約而同的搖了搖頭，翟豎的這個想法理論上沒有問題，但實際上根本行不通。

無論是對於微膨脹的監測還是對電子曝光系統的控制都不是現在的技術能夠做到的。

“聽你們說了這麼多，都是系統方面的問題。如果控制系統能夠達到這樣的精度，是不是這種方案就是可行的？”

翟豎顯得有些激動，亅語言啊，那就是個神，如果真的只僅僅是控制系統問題，那這問題亅語言就能解決啊！

工程師們看著翟豎的反應，雖然內心不認可，但心裡也有一些意動，不管成不成的，那麼多方案都嘗試過了，也不差這一回。

立即就地比對材料、探索方案，跟工程師們一起探究了大半天。

結束的時候都已經半夜了，最後得出結論：理論上是沒有問題的。

精度本身的控制，除了材料那就是控制系統了，從材料上來說，只要能精確監測工作溫度的變化，根據材料本身的性質就能計算出它的膨脹程度。

光源再有針對性的進行補償調整，理論上是可以做到。

但理論僅僅只是理論，哪怕是世界上最頂尖的控制系統現在也沒辦法精確的做到光源系統的實時曝光補償。

這對於系統的運算能力和指令時延要求太高了——按照推算，監測系統、控制系統以及光源曝光系統三個系統處理整個監測、控制、行動的邏輯加起來不能超過1ms級別。

否則補償就會失去意義，甚至會讓整個系統變得更加糟糕！

而在滬州微電子的工程師眼裡，這這根本就不可能。

“沒有什麼是不可能的！”翟豎笑了，這些東西交給亅語言，完全就不是問題：

“儘快把SSA800系列光刻機到位。這些天，我就先用現有的600系列做一個實驗，你們等著驗證就行！”

……

電子曝光系統的改造，補償控制系統的開發，各類監測硬體驅動程序全部升級，這是翟豎最終確定的方案——全部使用亅語言，超時代的語言不管用到哪裡，那都是碾壓式的。

翟豎甚至可以說，只要不是硬體問題，所有的系統問題亅語言都可以更優秀，這是時代的差距。

“早知道還要幹這個活，就提前熟悉一些機械設計製造及其自動化專業的基礎知識了。”

對於機器自動化控制的專業知識，翟豎瞭解的太少，需要現學，有時候還需要專門去查一些資料，嚴重拖慢了進度。

“機械設計製造及其自動化？”蘇幼冰有些不解。

“對啊！”翟豎伸了個懶腰，隨即打了個哈欠，太累了。

“計算機太火了，連自動化都被嫌棄了，全都一窩蜂扎進網際網路大廠去掙大錢。誠然，計算機技術非常重要，也是未來各行各業發展的一個突飛猛進的契機。

但，突飛猛進也是需要基礎的啊，就像我們要建高樓大廈一樣，總不能在空中開建吧？基礎很重要。

製造業尤其是高精尖端的製造業，那是一切的基礎，生化環材，那更是基礎中的基礎。就拿光刻機來說吧，如果我們有一家頂尖的光學企業，能夠生產頂級的鏡頭，那這光刻機的突破就不會有今天這麼多的困難。”

翟豎也是無比感慨，如果SSA800系列的鏡頭能夠上一個檔次，問題就不至於像今天這麼麻煩！

透鏡的質量太差了，透鏡相差對晶片製造過程的影響不可估量，不僅會影響掩膜版誤差因子和能量裕度不說，還會影響矽片上的線寬，影響成像質量。

場像彎曲還會影響焦深，對某些對焦深敏感的差閘電路影響簡直就是致命的。

想要補償，光是演算法，翟豎就費了無數的腦細胞，結果是不是理想還很難說。

“沒辦法啊！”翟豎搖了搖頭，他這個時候總不能再把光刻機拆了，然後把透鏡換了吧？

就算他想換，國內也沒有哪家企業能生產如此高階的鏡頭。

像阿斯麥的光刻機光學鏡頭就是卡爾蔡司提供的，卡爾蔡司是一家德國企業，而卡爾蔡司這種鏡頭的生產裝置則是美國企業供應的。

光刻機最關鍵的兩大部件之一就是光學鏡頭，這是怎麼繞都繞不過去的一道坎。

除非國內的光學企業能夠有所突破，但，國內的光學企業現狀也是一言難盡。

別說如此高階的光刻機鏡頭了，就連民用的攝像機、照相機鏡頭也大都依賴於進口，甚至連近視眼鏡都是進口的更受認可。

不得不說，這真的是任重而道遠。

不過，遠的先不說，系統改造的結果沒有讓翟豎失望：整套系統升級後，完美的實現了他對補償性調整的設想。